Insoptics Optica Engine
Программная библиотека Insoptics Optica Engine предназначена для проведения процессов контроля тонких пленок. Высокоэффективные алгоритмы позволяют работать как в режиме широкополосного контроля, так и в режиме монохроматического контроля. Наш накопленный опыт позволил создать работающее программное обеспечения для контроля любого типа оптических покрытий
Request QuoteБазовые режимы работы
Программное обеспечение позволяет работать как в режиме широкополосного контроля получая данные со спектрометров, так и в одноволномвом режиме эффективно обрабатывая данные получаемые с монохроматоров или спектрографов.
Широкополосный режим
В данном режиме обрабатываются данные получаемые от одного или нескольких спектрометров. Используя данные о показателях преломления вычислятется физическая толшина, что позволяет системе контроля работать, как полноценному кварцевому контролю, при этом получая данные о текущей скорости покрытия и толшине прямо из оптического сигнала
Одноволновой режим
Режим одноволного контроля предназначен для успешного создания покрытий даже в случае нестабильных процессов. Одновлновой режим библиотеки разработан для успешного преодаления проблемы дрейфов сигнала, привнесенных оборудованием шумов.
Расширенные режимы работы
Большой объем получаемых данных во время измерения возможно использовать для более глубокого анализа тонких пленок, а также для управлением результатом процессов в случае нештатных ситуаций.
Реверс инжинириг
В режиме одноволного мониторинга при использовании спектрографа в качестве источника данных возможен реверс инжиниринг осажденного слоя. В данном случае получение данных о осажденной физической толщине позволяю лучше оценивать качество контроляи прогнозировать финальный результат. При работе в режиме широкополосного такое прогнозирование дает возможность оценить финальный результат и выполнить онлайн оптимизацию.
Онлайн оптимизация
Режим онлайн оптимизации предназначен для улучшения конечного результата в случае накопления ошибок связанных с неустойчевым поведением оборудования. Проведение онлайн оптимизации позволяет значительно упростить процесс спасения покрытий. Наш алгоритм позволяет производить перерасчет покрытия с учетом введенного таргета. При этом есть возможность оценивать метрики не только режима контроля, но и любые другие в комлексе. Например: контролируем пропускание под 0 градусов, но при этом оцениваем еще дополнительно отражение под 45 в склейке.
Виртуальное нанесение покрытий
Режим виртуального нанесения покрытий (Virtual Deposition Simulation, VDS) обеспечивает моделирование и управление процессами нанесения покрытий. VDS позволяет симулировать параметры осаждения, включая оптические константы материалов, с учетом погрешностей показателя преломления, изменений скорости осаждения, задержек работы заслонки и шумов в измерениях.